从化学角度看,ITO是一种复合氧化物,其性能很大程度上取决于氧化铟和氧化锡的比例。氧化铟提供高透明度,而氧化锡的掺杂则增强了材料的导电性。通过控制这两者的配比,ITO能够在保持光学透明的同时,具备接近金属的导电能力。这种“透明却导电”的特性,使得ITO成为制造透明导电膜的理想选择。
ITO靶材的核心用途是在磁控溅射工艺中作为“溅射源”。磁控溅射是一种常见的薄膜沉积技术,通过高能离子轰击靶材表面,使靶材原子被“敲击”出来,终沉积在基板上,形成一层均匀的ITO薄膜。这层薄膜厚度通常在几十到几百纳米之间,却能同时实现导电和透光的功能。
铟回收具有重要的环保和经济效益。通过回收废旧靶材中的铟,可以减少对新资源的开采,降低环境污染,实现资源的可持续利用。此外,回收铟还能稳定市场供应,降低生产成本,促进相关产业的可持续发展。
ITO(Indium Tin Oxide,氧化铟锡)靶材是一种广泛用于透明导电薄膜材料制备的复合氧化物材料,其主要成分为氧化铟(In₂O₃)和氧化锡(SnO₂)。通常,ITO靶材中氧化铟与氧化锡的质量比例为90:10,这一比例在实际应用中表现出较为理想的光电特性,使其在透明导电薄膜中广泛应用。