ITO靶材的回收流程通常包括以下几个步骤：

1. 收集与分类：将废旧ITO靶材进行收集，并根据其种类、纯度等进行分类。

2. 破碎与研磨：将分类后的靶材进行破碎和研磨，使其变成粉末状，便于后续处理。

3. 化学分离：采用化学方法将粉末中的铟、锡等元素进行有效分离。

4. 提纯与精炼：对分离出的铟、锡等元素进行提纯和精炼，得到高纯度的金属产品。

5. 再加工：将提纯后的金属产品加工成新的靶材或其他产品，实现资源的循环利用。

除了ITO靶材外，铟还广泛应用于其他领域，如半导体材料、太阳能电池、LED等。因此，回收铟不于ITO靶材的回收，还包括其他含铟废料的回收。

ITO靶材的回收再利用具有重要的意义和价值。通过科学的回收技术和流程，不仅可以实现资源的循环利用，还能减少环境污染，推动可持续发展。同时，回收铟也需要关注性、环保性和合规性等方面的问题。

在实际生产中，采用蒸馏法分离铟、锡时，可考虑采用微负压系统进行产业化生产的升级改进。通过改善工艺条件和调整技术参数等，以充分的降低能耗，并获得更好的铟、锡分离效果，这也是今后产业化试验研究的主要方向。