废ITO靶材回收的核心挑战在于:
成分复杂:除In₂O₃、SnO₂外,含粘结剂、金属背板(铜/钼)等。
高纯度要求:再生铟纯度需达99.99%以上,杂质含量需严格控制在ppm级,否则影响新靶材性能。
铟锡分离:分离铟锡是实现价值化的关键。
闭环工艺:价值再造的精益之路
ITO靶材主流回收技术:
机械物理分离:适合较厚靶层,回收效率高。
湿法化学回收:利用酸碱进行溶解分离,适合大批量废靶材。
热处理工艺:部分回收方案采用高温分离,能耗较大。
ITO靶材回收市场需求持续增长,尤其在显示面板和光伏行业。铟价高企,促使更多企业关注废靶材的回收利用。随着技术进步,回收工艺趋于环保。
常见问题答疑:
1. 废靶材回收价格如何计算?
主要根据靶材剩余铟锡含量、市场行情、回收工艺等因素浮动。
2. 回收的铟锡纯度能否满足再次制靶需求?
取决于回收及精炼工艺,多数高品质回收企业可将纯度提升至制靶要求。
3. 回收周期多久?
一般为12周,具体视回收量和工艺流程而定。
氧化铟锡(ITO)靶材广泛应用于平板显示器和太阳能电池的生产,在ITO目标使用了一段时间后,将其替换为新的目标,用过的ITO靶含有大量的铟,可以通过各种工艺回收。