ITO靶材在溅射镀膜过程中利用率通常仅30%左右,大量含铟废料(废旧靶材、边角料、镀膜腔室废料)随之产生。过去,这些价值的废料往往被简单处理或堆积。建立从“废靶材→再生铟→新靶材”的闭环体系,成为破解资源约束的黄金路径。
全球靶材企业(如JX日矿、三井矿业)已建立完善回收体系。中国厂商如先导、阿石创也在加速布局。这场围绕“铟循环”的闭环革命,正在重塑显示材料产业的竞争格局与可持续未来。谁掌握了回收技术,谁就扼住了产业链的咽喉。
从用过的ITO靶材中回收氧化铟包括几个步骤,包括溶解、沉淀和焙烧。首先将目标材料溶解在盐酸中,盐酸溶解氧化铟,然后加入氢氧化钠从酸性溶液中析出氧化铟。生成的氢氧化铟然后在高温下焙烧得到氧化铟。
从用过的ITO靶材中回收氧化铟的另一种方法是使用离子交换树脂,离子交换树脂用于选择性地从酸性溶液中吸附铟,然后用酸性溶液将铟从树脂中洗脱出来,并通过焙烧得到氧化铟。