废ITO靶材回收的核心挑战在于:
成分复杂:除In₂O₃、SnO₂外,含粘结剂、金属背板(铜/钼)等。
高纯度要求:再生铟纯度需达99.99%以上,杂质含量需严格控制在ppm级,否则影响新靶材性能。
铟锡分离:分离铟锡是实现价值化的关键。
闭环工艺:价值再造的精益之路
全球靶材企业(如JX日矿、三井矿业)已建立完善回收体系。中国厂商如先导、阿石创也在加速布局。这场围绕“铟循环”的闭环革命,正在重塑显示材料产业的竞争格局与可持续未来。谁掌握了回收技术,谁就扼住了产业链的咽喉。
氧化铟锡(ITO)靶材广泛应用于平板显示器和太阳能电池的生产,在ITO目标使用了一段时间后,将其替换为新的目标,用过的ITO靶含有大量的铟,可以通过各种工艺回收。
从用过的ITO靶材中回收氧化铟包括几个步骤,包括溶解、沉淀和焙烧。首先将目标材料溶解在盐酸中,盐酸溶解氧化铟,然后加入氢氧化钠从酸性溶液中析出氧化铟。生成的氢氧化铟然后在高温下焙烧得到氧化铟。