ITO靶材在溅射镀膜过程中利用率通常仅30%左右，大量含铟废料（废旧靶材、边角料、镀膜腔室废料）随之产生。过去，这些价值的废料往往被简单处理或堆积。建立从“废靶材→再生铟→新靶材”的闭环体系，成为破解资源约束的黄金路径。

ITO靶材主流回收技术：

机械物理分离：适合较厚靶层，回收效率高。

湿法化学回收：利用酸碱进行溶解分离，适合大批量废靶材。

热处理工艺：部分回收方案采用高温分离，能耗较大。

ITO靶材回收注意事项：

措施：处理酸碱和废液时需注意和环保。

环保合规：废液和残渣需达标处理，避免二次污染。

回收效率：合理选择工艺，提高铟、锡的回收率和纯度。

从电子废物和废ITO靶材等废物来源中回收氧化铟是铟回收的一个重要方面。从这些废源中回收氧化铟可以通过各种工艺实现，包括化学处理、溶剂萃取和离子交换，回收的氧化铟可用于生产各种半导体器件，从而减少对新铟资源的需求，并将铟开采对环境的影响降至。