废ITO靶材回收的核心挑战在于:
成分复杂:除In₂O₃、SnO₂外,含粘结剂、金属背板(铜/钼)等。
高纯度要求:再生铟纯度需达99.99%以上,杂质含量需严格控制在ppm级,否则影响新靶材性能。
铟锡分离:分离铟锡是实现价值化的关键。
闭环工艺:价值再造的精益之路
ITO(氧化铟锡,Indium Tin Oxide)靶材广泛应用于液晶显示器、触摸屏、太阳能电池等行业。随着ITO靶材的广泛使用,其回收再利用成为降低成本、减少资源浪费、保护环境的重要环节。
ITO靶材回收的必要性
1. 资源稀缺:铟为稀有金属,资源有限,价格昂贵。
2. 成本控制:回收废旧ITO靶材可降低企业原材料采购成本。
3. 环保要求:减少废弃物排放,符合绿色生产理念。
氧化铟锡(ITO)靶材广泛应用于平板显示器和太阳能电池的生产,在ITO目标使用了一段时间后,将其替换为新的目标,用过的ITO靶含有大量的铟,可以通过各种工艺回收。